:[email protected]
English
FAQ
PRODUCTS LIST
products

1200 zones مناطق مزدوجة انزلاق فرن pecvd

  • Model Number:

    TMAX-1200-1200
  • Delivery Time:

    3 days
contact now
DESCRIPTION

1200 zones مناطق مزدوجة انزلاق فرن pecvd


TMAX-1200-1200 يتألف نظام pecvd للمنزل ذو درجة الحرارة المزدوجة من TMAX-1200-1200 فرن أنبوب الفراغ ثنائي الانزلاق ، غرفة فراغ الكوارتز ، مزود طاقة تردد الراديو ، نظام إمداد الغاز gx ، نظام الضخ ونظام قياس الفراغ.


الخصائص الرئيسية:


1. يتم تغيير الغاز في غرفة فراغ الكوارتز إلى الحالة الأيونية عن طريق إمدادات الطاقة RF.


2. pecvd أقل من cvd الطبيعي لترسيب البخار الكيميائي


3. يمكن السيطرة على الإجهاد من الأفلام المودعة عن طريق تردد إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية


4. pecvd لديه معدل ترسب عالية ، توحيد جيد ، الاتساق والاستقرار من cvd العادي.


5. تستخدم على نطاق واسع في نمو مختلف الأفلام ، مثل siox ، sinx ، sioxny والسيليكون غير المتبلور (a-si: h) ، إلخ.


هذه الشريحة tl1200-1200 نوع تقنية نظام pecvd مزدوجة درجة الحرارة هي تقنية التسخين السريع لدرجة حرارة pecvd ونظام التبريد ، في نطاق درجة حرارة نظام pecvd المزدوج المثبت على زوج من السكك الحديدية الشريحة ، تقنية المتاحة نظام انزلاق يدوي.

معدل التدفئة والتبريد تصل إلى 100 درجة مئوية / دقيقة.

للحصول على أسرع التدفئة ، قم بتسخين الفرن إلى درجة الحرارة المحددة مسبقًا ، ثم انقل الفرن إلى موضع العينة.

للحصول على أسرع تبريد ، انقل الموقد إلى الطرف الآخر بعد تسخين العينة.

معدل التدفئة والتبريد تحت فراغ أو بيئة الغاز الخامل يمكن أن تصل إلى 10 درجة مئوية / ثانية ، هو انخفاض درجة حرارة التدفئة والتبريد السريع منخفض التكلفة من تقنية نظام pecvd مزدوجة.

1. kanthal سلك المقاومة a1 من السويد

kanthal a1 الأصلي الأسلاك الصينية سلك المقاومة فرن مقابل المستوردة سلك المقاومة الفرن

(1) ، ارتفاع درجة حرارة السطح يمكن أن تصل إلى 1420

(2) السطح مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ (ساطع جدًا ، يجب على العميل الانتباه إليه) ، لن يصدأ ، ولن يسقط وقت الاستخدام من الخبث.

(3) يتم تنزيل بيانات سلك مقاومة kanthal

(4) موقع سلك مقاومة kanthal: www.kanthal.com

(5) المقاومة متوازنة ومجال درجة الحرارة جيد على قدم المساواة

معظم الشركات المصنعة تستخدم سبائك الحديد كروية مخدر بواسطة سلك المقاومة مو ، والتي

في بعض الأحيان تكون المقاومة غير متساوية وجزءًا من الحرارة صغيرًا لمقاومة kanthal a1 موحدة ومتوازنة للحرارة وتأثير جيد لدرجة حرارة الحقل

2. تركيب التبديل الهواء و حامي تسرب:

عند حدوث تيار كهربائي أو تسرب ، يتم فصل اجتماع فارغ تلقائيًا.

3. يمكن الاتصال مع الكمبيوتر

تم تجهيز هذا الفرن بواجهة وبرامج اتصال ، ويمكن أن يكون مباشرة من خلال التحكم بالكمبيوتر الفرن لكل معلمة ، ويمكن ملاحظتها من الكمبيوتر الكهروضوئية على الموقد وقيمة درجة حرارة التشغيل والتشغيل الصك ، ودرجة الحرارة الفعلية للكمبيوتر رسم منحنى الفرن في الوقت الحقيقي ، ويمكن الحفاظ على بيانات درجة الحرارة في كل مرة ، ويمكن الاتصال في أي وقت

4. غرفة

(1 ) عالية الجودة الألومينا نقية عالية الألياف الكريستالات الفرن الشفاء مع شفط فراغ وتشكيل مرشح.

(2). اعتماد التكنولوجيا اليابانية لتشكيل.

(3). يتم ترتيب تباعد ونبرة سلك المقاومة في الفرن وفقًا لأفضل التقنيات الحرارية في اليابان ، ويتم محاكاة مجال درجة الحرارة بواسطة برنامج حراري

(4). باستخدام 4 أسابيع التدفئة ، ودرجة الحرارة أكثر توازنا

5. لوحة كهربائية اختيارية معتمدة من ul (كل ذلك من خلال شهادة ul للأجهزة الكهربائية المستوردة)

6. الزناد

بدء تشغيل الحد من بدء التشغيل الناعم تستخدم معظم الشركات المصنعة مشغلات بود شيامن غير المقيدة

1 مرحلة التحول الزناد (مع بداية لينة وظيفة الحد الحالي)

2. وظيفة الحد الحالي بغض النظر عن كيفية ضبط وقت التسخين الذي نستخدمه في الفرن الكهربائي بعد أن يقتصر التيار الثانوي للمحول على 170a أو أقل حماية محدودة للمعدات. مشغل غير محدود إذا تم ضبط معدل التسخين بشكل غير صحيح أو سريع للغاية. التيار المنخفض الحالي كبير جدًا حيث أن الجهاز سيرحل أو ينفد.

3 - بداية لينة وظيفة التيار سوف تزيد ببطء من تأثير عنصر التسخين صغير يؤدي إلى إطالة عمر عنصر التدفئة

4 - وظيفة الحماية إذا تجاوز التيار الحد الحالي ، يقوم المشغل تلقائيًا بقطع وظيفة المشغل لقطع فرن الحماية الحالي.

7. المجاهدين محول معتمد

1 - كابل محول النحاس النقي

2 صوت المحولات الصغيرة

3 درجة حرارة المحولات منخفضة

8. مجموعة متنوعة من الخيارات لاختيار مجموعة متنوعة من الشفاه (قطرها من 25 إلى 250 مم)

نموذج

tmax-1200-1200 - أنا

TMAX-1200-1200-II

TMAX-1200-1200 والثاني والثالث

TMAX-1200-1200-IV

قوة

3 كيلو واط

3 كيلو واط

4 كيلو واط

4 كيلو واط

حجم الأنبوب

120 (od) x1800mm dia

60 (od) x1800mm dia

80 (od) x1800mm dia

100 (od) x1800mm ديا

الأبعاد الكلية (lxdxh)

1800 × 480 × 680

1800 × 410 × 610

1800 × 410 × 610

1800 × 460 × 660

الجهد امدادات الطاقة

220 فولت

المواد السكك الحديدية الشريحة

304 الفولاذ المقاوم للصدأ

نمط انزلاقي

الفولاذ المقاوم للصدأ المتداول تحمل

عدد الطور

على مرحلة واحدة

عنصر التسخين

استيراد السلوفان canthal a1 سلك المقاومة انقر في تنزيل البيانات

وضع التحكم

باستخدام يو الكهربائية ترمومتر التحكم في البرنامج (قياسي)
1. 30 برنامج التحكم في درجة الحرارة تعديل PID ذكي.
2. يمكن قطع دائرة التسخين للفرن الكهربائي تلقائيًا عندما يكون محميًا بالدفء أو الانهيار عن طريق الخطأ. (عندما تتجاوز درجة حرارة الفرن 1200 درجة أو عند كسر المزدوجة الحرارية ، سيتم فصل مرحل التيار المتردد في الدائرة الرئيسية تلقائيًا ، وتكون الدائرة الرئيسية مكسورة ، وينطفئ الضوء الموجود على اللوحة ، بعيدًا عن الضوء ، والفرن الكهربائي الوقائي المحدود.
3. مع 485 واجهة الاتصال (قياسي ومعيار لاختيار البرمجيات)
4. لديه وظيفة حماية انقطاع التيار الكهربائي ، أي عند انقطاع التيار الكهربائي ، فإن البرنامج لن يبدأ من درجة حرارة البداية ، ولكن الفرن سيبدأ في الارتفاع عند انقطاع التيار الكهربائي.
الصك لديه وظيفة ضبط درجة الحرارة الذاتي

(لاستبدال الأداة المستوردة ، نحتاج إلى دفع رسوم أخرى.)

fp93 الجدول التحكم في درجة الحرارة (شيمادن) الصكوك الأوروبية

أداة تعمل باللمس

وضع التحكم في درجة الحرارة

معرف المنتج

كسر حتى الحماية والعرض

نعم فعلا

على حماية درجة الحرارة

نعم فعلا

أكثر من الحماية الحالية

نعم فعلا

دقة التحكم

+ / - 1

الزناد

مرحلة التحول الزناد

الأجهزة الكهربائية

تشجيانغ chint

السيليكون المعدل للرقابة

106 / 16e البوابة الغربية ، ألمانيا

أعلى درجة حرارة

درجة حرارة المنطقة 1: 1200 درجة حرارة المنطقة 2: 1200

درجة الحرارة في التصنيف

درجة حرارة المنطقة 1: 1100 درجة حرارة المنطقة 2: 1100

معدل التسخين

ال 20 / دقيقة أو أقل (يمكن تعديلها وفقًا للمتطلبات)

معدل التدفئة الموصى بها

10 / دقيقة أو أقل

نموذج الحرارية

المناطق 1: نطاق درجة الحرارة من النوع k 2: نوع k

طول التدفئة

المناطق 1: نطاق درجة حرارة 200 ملم. 2: 200 ملم

شهادة الكهربائية

م

درجة حرارة السطح المحيطة

45 او اقل

الترددات اللاسلكية امدادات الطاقة

(مولد البلازما)

مجموعة انتاج الطاقة

0-500 واط

أقصى قوة تنعكس

200 واط.

تردد العمل

rf: 13.56 ميجا هرتز زائد أو ناقص 0.005٪

استقرار الطاقة

+ / - 0.1٪

عنصر التوافقي

- 50 أو أقل ديسيبل

عرض الترددات اللاسلكية

0-600 - مم قابل للتعديل

وضع المطابقة

تلقائي

وضع التبريد

الهواء البارد

الضوضاء

العلامة & lt؛ 50 ديسيبل

واجهة تردد الراديو

50 Ω ن - نوع

مدخل الطاقة

208-240 - 50/60 هرتز

المعالم الرئيسية لنظام امدادات الغاز gx

تدفق متر الشامل
النطاق القياسي
باستخدام وحدة التحكم في تدفق البروتون 5 ، 10 ، 20 ، 30 ، 50 ، 100 ، 200 ، 300 ، 500 متر مكعب ، 1 ، 2 ، 3 ، 5 ، 10
(يمكنك اختيار نطاق المدى ونوع الغاز)
أقصى ضغط العمل 3 النائب
دقة زائد أو ناقص 1.5 ٪
انخفاض الضغط العلامة & lt ؛ 0.01 ميجا باسكال & lt؛ p = "" & gt؛
كرر الدقة زائد أو ناقص 0.2٪ fs

قنوات إذاعية:

1 ، 2 ، 3 ، 4 ، 5 ، 6 ، 7 ، 8 (اختياري)

نوع مشترك

كاسيت مزدوج موصل الفولاذ المقاوم للصدأ

نظام ضغط العمل المدى

0.1 ~ 0.5 ميجا باسكال

درجة حرارة العمل

5-45

ضغط الفراغ ووتش

0.1 ~ 0.15 ميغاباسكال إلى 0.01 ميغاباسكال / القضية

غرفة خلط ثابتة

ديا 50 × 400 مم

جهة تعامل

ضياء 6 1/4 "

إمدادات الطاقة

220 فولت

بحجم

600 × 600 × 600

انبوب مجدول

kf25x1000mm

يمكن الوصول إلى درجة الفراغ مع هذا النظام

10-1 السلطة الفلسطينية

فراغ يربك صمام

KF25

vrd إلى 8 مضخة فراغ

نموذج

vrd إلى 8

الحد من الضغط الجزئي

5 × 10 - سنويا

مدخل العادم واجهة

KF25

سرعة المحرك

1440 دورة في الدقيقة

معدل الاستخراج

2.2 لتر / ثانية

قوة المحرك

0.4 كيلو واط

مضخة جذور متعددة المراحل خالية من الزيت acp1 perfeer (خطة 2)

نموذج

acp15

مزود الطاقة

ac100 ~ 240v 50 / 60HZ

قوة

450 واط

واجهة العادم

KF25

وزن

25 كجم

الحد الأقصى لمعدل تسرب الهيليوم هو

5 · 10-8 باسكال م 3 / ث

درجة فراغ المدقع

0.02 torr

معدل الاستخراج هو

14 م 3 / ساعة

نموذج

zdr - 1

قوة

25 واط.

نطاق قياس درجة الفراغ

0.1-10 5 سنويا

السيليكون المقاومة

ما كان ZJ إلى 52 ر

السويد (inficon) pirani فراغ السعة متر (اختياري)

نموذج

pcg554

مساهمة الجهد

24v 1a dc (مجهزة محول 220 فولت)

واجهة قياس الفراغ

kf16

عرض رقمي

شاشة رقمية (حجم الشاشة 20 × 14 مم) ، وحدة عرض البيانات الخاصة بها هي torr

حجم المنتج

46 مم × 28 مم × 126 مم (س س س س)

وزن

5 رطل

الكشف عن الغاز

يمكن اكتشاف غازات مختلفة بما في ذلك الغازات المختلطة ودقيقة وقابلة للتكرار

ما إذا كان المضادة للتآكل

الحماية من التآكل

وقت الاستجابة

30 مللي ثانية أو أقل

نطاق القياس

3.8 x10-5-1125 torr.

وحدة المضخة الجزيئية (اختياري)

الجهد وحدة الإدخال

380 فولت / 220 فولت

انبوب مجدول

kf40x1000

فراغ يربك صمام

kf40

حجم القضية

600 × 600 × 600

نموذج المضخة الجزيئية

fj620

مساهمة الجهد

380 فولت

مضخة الجزيئية مدخل شفة

dn160

مضخة ضخ جزيئية معدل لتر (s)

600

مضخة الحد الجزيئي الضغط (سنويا)

6 × 10-7

نظام التبريد

تبريد المياه

ضغط مياه التبريد (الأم)

0.1 إلى 0.2

درجة حرارة ماء التبريد

العلامة & lt؛ 25 العلامة & lt؛ p = "" & gt؛

درجة حرارة البيئة

0 ~ 40

اقترح بدء الضغط

العلامة & lt؛ 100 سنويا & lt؛ p = "" & gt؛

مضخة فراغ المحرك rvp - 6

قوة

0.75 كيلو واط

الجهد االكهربى

380 فولت

سرعة

1450 دورة في الدقيقة

قطر المدخل

kf25 / kf40

معدل ضخ المضخة (لتر / ثانية)

6

الضغط النهائي

4 - 10 - 2 سنويا

مضخة فراغ pfeiffer الألمانية

الجهد االكهربى

220 فولت

قوة

110 واط.

واجهة استخراج

kf40

وزن

150 كجم

سرعة المضخة للمضخة الأمامية

0.9 م 3 / ساعة

معدل الاستخراج (n2)

33 م / ث

قياس فراغ مركب

نموذج قياس الفراغ المركب

زد دي اف

إمدادات الطاقة

220 فولت 55 واط

دقة التحكم

زائد أو ناقص 1 ٪

قياس مدى فراغ قياس

10-5-10 5 سنويا

أجزاء

رقم

فرن أنبوب tl1200-1200

1 مجموعة

أنبوب الكوارتز

1

ق شفة

1 مجموعة

ربط الفولاذ المقاوم للصدأ

1

المكونات فرن الألومينا

3

قفازات درجة حرارة عالية

1 زوج

الألومينا بوتقة

1

K المزدوجة الحرارية

1

485 تحويل واجهات والبرمجيات ( اختياري )

1 مجموعة

كتاب التعليمات

1

دعم شفة

1

نظام امدادات الغاز

1

مقابل 0.1air نظام استخراج

1

قوة الترددات اللاسلكية

1

الطويق

4

أدناه

1

فراغ يربك صمام

1

موصل cyl ( ن تقف على عدد من القنوات )

ن

موصل صمام

2

أنبوب ptfe (n لتقف على عدد القنوات)

ن * 5


PECVD furnace


1. نحن توريد الآلات مع دعم تكنولوجيا البطارية.

2. نحن العرض مجموعة كاملة من معدات بطارية الليثيوم للبحوث المخبرية ، البحث التجريبي النطاق لين الإنتاج ه.



1 الحزمة القياسية المصدرة: حماية anticollision الداخلية ، تصدير صندوق خشبي التغليف الخارجي.

2 الشحن عن طريق التعبير ، عن طريق الجو ، عن طريق البحر وفقا لمتطلبات العملاء لإيجاد الطريقة الأكثر ملاءمة.

3 مسؤولة عن الضرر أثناء عملية الشحن ، سيتم تغيير جزء الضرر لك مجانا.


Copyright © 2016- Tmax Equipments, Roller Press Machine, Ultrasonic Welder