مختبر 1200 zones مناطق مزدوجة ق lidable فرن أنبوب pecvd (أنبوب اختياري ديا)

TMAX-حزب اليسار الديمقراطى-1200pecvd هو منطقة مزدوجة انزلاق pe-cvd أنبوب الفرن يتكون النظام من مصدر بلازما الترددات اللاسلكية ، مع حجم الأنبوب وسكة قابلة للانزلاق متكاملة ، ومقياس تدفق الكتلة بدقة مع خزان خلط الغاز ، ومضخة فراغ عالية الجودة خالية من الزيت. مثل فرن pe-cvd هو أداة جديدة لزراعة الأسلاك النانوية أو الجرافين مع الفوائد التالية:
1. انخفاض درجة الحرارة المعالجة مقارنة التقليدية CDV.

2. ارتفاع التدفئة و أمبير ؛ معدل التبريد باستخدام انزلاق الفرن.

3. 1200 درجة مئوية كحد أقصى. درجة حرارة العمل.

4. يوفر مجموعة واسعة من ترسب المواد ، مثل الكربون و أمبير ؛ zno أسلاك متناهية الصغر (أو أنبوب) وكرمة طبقة واحدة.

مواصفات:

نموذج	حزب اليسار الديمقراطى-1200 ℃ -pecvd ط	حزب اليسار الديمقراطى-1200 ℃ -pecvd-II	حزب اليسار الديمقراطى-1200 ℃ -pecvd والثاني والثالث	حزب اليسار الديمقراطى-1200 ℃ -pecvd-IV
قوة	3 كيلو واط	3 كيلو واط	4 كيلو واط	4 كيلو واط
حجم الأنبوب	ضياء 60 (od) × 1800mm	ضياء 80 (od) × 1800mm	ديا 100 (od) × 1800 مم	dia120 (OD) x1800mm
أبعاد المنتج (مم)	1800x410x610	1800x410x610	1800x460x660	1800x460x660
المميزات	1. اثنين من الدقة الدقة للبرمجة. تحكم مع 30 قطعة. 2. منطقتين التدفئة التي تسيطر عليها بشكل منفصل: طول 200mm لكل منطقة التدفئة 400MM المجموع في طول التدفئة مساحة تسخين درجة حرارة مركزية ثابتة تبلغ 250 مم إذا تم تسخين كلتا المنطقتين بنفس درجة الحرارة
هياكل الفرن	1. انقسام الفرن أنبوب مع السكك الحديدية المنزلقة 2. أقصى 1150 درجة مئوية للتدفئة المستمرة 3. أجهزة التحكم في درجة الحرارة الرقمية عالية الدقة القابلة للبرمجة مع 30 قطاعًا. 4. مدخلات الطاقة: 208 - 240 فولت ac الإدخال ، مرحلة واحدة في أقصى. 4KW
امدادات الطاقة الترددات اللاسلكية البلازما	1. انتاج الطاقة: 5 - 500W قابل للتعديل مع الاستقرار ± 1 ٪. 2. الترددات اللاسلكية: 13.56 ميجا هرتز ± 0.005 ٪ الاستقرار. 3. قوة الانعكاس: 10 واط كحد أقصى. 4. مطابقة: التلقائي 5. منفذ إخراج rf: 50 Ω ، n-type ، أنثى 6. الضوضاء: العلامة & lt ؛ 30 ديسيبل. 7. التبريد: تبريد الهواء. 8. الطاقة: 208-240vac ، مرحلة واحدة ، 50/60 هرتز
قياس الضغط المضادة للتآكل	1. 3.8x10 -5 إلى 1125 نطاق قياس torr 2. المضادة للتآكل ، الغاز نوع مستقلة 3. دقة عالية واستنساخ في الغلاف الجوي للكشف عن الضغط الجوي موثوق 4. الكشف الجوي السريع يلغي وقت الانتظار ويقصر دورة العملية 5. من السهل تبادل المكونات & أمبير ؛ تلعب عنصر الاستشعار
محطة ضخ فراغ والصمامات	1. مضخة شفط جافة عالية السرعة (120l / min) من pfeiffer ، يتم تثبيت حد 10e-3 torr داخل العربة المتنقلة شديدة التحمل 2. يتم توصيل محول kf25 وأنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ بين المضخة وشفة الأنبوب مع صمام الكرة لسد وتشغيل العميل 3. 10e-2 torr vacuum يمكن تحقيقه داخل أنبوب المعالجة
مقاييس التدفق الشامل & أمبير ؛ محطة خلط الغاز	يتم تثبيته في عربة متنقلة للخدمة الشاقة حيث يمكن وضع فرن الأنبوب في الأعلى. شاشة لمس LCD مدمجة لتوفير تحكم سهل في معدل تدفق الغاز لكل قناة مستقلة. 1. درجة حرارة العمل: 5 ~ 45 درجة مئوية 2. كحد أقصى. الضغط: 3x10 6 السلطة الفلسطينية 3. الدقة: ± 1.5٪ fs 4. الخطوط الملاحية المنتظمة: ± (0.5-1.5)٪ fs. 5. دقة مكررة: ± 0.2 ٪ fs. 6. نطاق السيطرة: 5،10،20،30،50،100،200،300،500sccm أو 1،2،3،5،10slm.
التدفئة و أمبير ؛ معدلات التبريد	يتم تثبيت منفذ rs485 والبرامج والسماح التحكم عن بعد درجة الحرارة الشخصية عن طريق الكمبيوتر. من أجل تحقيق أقصى معدل تسخين ، يجب على المستخدم تسخين الفرن إلى درجة الحرارة المطلوبة ، ثم حرك الفرن إلى منطقة العينة من الأنبوب من أجل تحقيق الحد الأقصى. معدل التبريد ، ونقل الفرن ساخنة من المنطقة الساخنة إلى المنطقة الباردة معدل التسخين: 15 درجة مئوية / ثانية (rt - 150 درجة مئوية) ؛ 10 درجة مئوية / ثانية (150 درجة مئوية - 250 درجة مئوية) ؛ 7 درجة مئوية / ثانية (250 درجة مئوية - 350 درجة مئوية) ؛ 4 درجات مئوية / ثانية (350 درجة مئوية - 500 درجة مئوية) ؛ 3 درجات مئوية / ثانية (350 درجة مئوية - 550 درجة مئوية) ؛ 2 درجة مئوية / ثانية (550 درجة مئوية - 650 درجة مئوية) ؛ 1 درجة مئوية / ثانية (650 درجة مئوية - 800 درجة مئوية) ؛ 0.5 درجة مئوية / ثانية (800 درجة مئوية - 1000 درجة مئوية) ؛ معدل التبريد: 15 درجة مئوية / ثانية (1000 - 950 درجة مئوية) ؛ 10 درجة مئوية / ثانية (950 درجة مئوية - 900 درجة مئوية) ؛ 7 درجة مئوية / ثانية (900 درجة مئوية - 850 درجة مئوية) ؛ 4 درجات مئوية / ثانية (850 درجة مئوية - 750 درجة مئوية) ؛ 2 درجة مئوية / ثانية (750 درجة مئوية - 600 درجة مئوية) ؛ 1.5 درجة مئوية / ثانية (600 درجة مئوية - 500 درجة مئوية) ؛ 1 درجة مئوية / ثانية (500 درجة مئوية - 400 درجة مئوية) ؛ 0.5 درجة مئوية / ثانية (400 درجة مئوية - 300 درجة مئوية) ؛
ضمان	ضمان محدود لمدة عامين مع دعم مدى الحياة.
ملاحظات طلب التقديم	صممت أفران الأنابيب مع أنابيب الكوارتز للاستخدام تحت فراغ وانخفاض الضغط العلامة & lt ؛ 0.12 ميجا باسكال (الضغط المطلق). انتباه: يجب تثبيت منظم الضغط على مرحلتين على أسطوانة الغاز للحد من الضغط إلى أقل من 3 رطل لكل بوصة مربعة للتشغيل الآمن. يجب أن يقتصر معدل التدفق للغازات على العلامة & lt؛ 200 متر مكعب (أو 200 مل / دقيقة) لتقليل الصدمات الحرارية إلى الأنبوب. تعريف حد الفراغ لجميع أفران أنابيب الكوارتز: * لا يجوز استخدام ضغوط الفراغ بأمان حتى 1000 درجة مئوية. لتشغيل نظام pecvd بحجم أنبوب أكبر من 4 "، يرجى الاحتفاظ دائمًا بأكثر من متر واحد من مصدر البلازما بعد بدء مولد البلازما في العمل.

1. نحن توريد الآلات مع دعم تكنولوجيا البطارية.

2. نحن العرض مجموعة كاملة من معدات بطارية الليثيوم للبحوث المخبرية ، البحث التجريبي النطاق لين الإنتاج ه.

1 الحزمة القياسية المصدرة: حماية anticollision الداخلية ، تصدير صندوق خشبي التغليف الخارجي.

2 الشحن عن طريق التعبير ، عن طريق الجو ، عن طريق البحر وفقا لمتطلبات العملاء لإيجاد الطريقة الأكثر ملاءمة.

3 مسؤولة عن الضرر أثناء عملية الشحن ، سيتم تغيير جزء الضرر لك مجانا.