مختبر 1200 ℃ مناطق مزدوجة انزلاق فرن pecvd أنبوب (أنبوب اختياري ديا)
Model Number:
TMAX-DSP-1200PECVDDelivery Time:
3 days
مختبر 1200 zones مناطق مزدوجة ق lidable فرن أنبوب pecvd (أنبوب اختياري ديا)
TMAX-حزب اليسار الديمقراطى-1200pecvd هو منطقة مزدوجة انزلاق pe-cvd أنبوب الفرن يتكون النظام من مصدر بلازما الترددات اللاسلكية ، مع حجم الأنبوب وسكة قابلة للانزلاق متكاملة ، ومقياس تدفق الكتلة بدقة مع خزان خلط الغاز ، ومضخة فراغ عالية الجودة خالية من الزيت. مثل فرن pe-cvd هو أداة جديدة لزراعة الأسلاك النانوية أو الجرافين مع الفوائد التالية:
1. انخفاض درجة الحرارة المعالجة مقارنة التقليدية CDV.
2. ارتفاع التدفئة و أمبير ؛ معدل التبريد باستخدام انزلاق الفرن.
3. 1200 درجة مئوية كحد أقصى. درجة حرارة العمل.
4. يوفر مجموعة واسعة من ترسب المواد ، مثل الكربون و أمبير ؛ zno أسلاك متناهية الصغر (أو أنبوب) وكرمة طبقة واحدة.
مواصفات:
نموذج |
حزب اليسار الديمقراطى-1200 ℃ -pecvd ط |
حزب اليسار الديمقراطى-1200 ℃ -pecvd-II |
حزب اليسار الديمقراطى-1200 ℃ -pecvd والثاني والثالث |
حزب اليسار الديمقراطى-1200 ℃ -pecvd-IV |
||
قوة |
3 كيلو واط |
3 كيلو واط |
4 كيلو واط |
4 كيلو واط |
||
حجم الأنبوب |
ضياء 60 (od) × 1800mm |
ضياء 80 (od) × 1800mm |
ديا 100 (od) × 1800 مم |
dia120 (OD) x1800mm |
||
أبعاد المنتج (مم) |
1800x410x610 |
1800x410x610 |
1800x460x660 |
1800x460x660 |
||
المميزات |
1. اثنين من الدقة الدقة للبرمجة. تحكم مع 30 قطعة. 2. منطقتين التدفئة التي تسيطر عليها بشكل منفصل:
|
|||||
هياكل الفرن |
1. انقسام الفرن أنبوب مع السكك الحديدية المنزلقة 2. أقصى 1150 درجة مئوية للتدفئة المستمرة 3. أجهزة التحكم في درجة الحرارة الرقمية عالية الدقة القابلة للبرمجة مع 30 قطاعًا. 4. مدخلات الطاقة: 208 - 240 فولت ac الإدخال ، مرحلة واحدة في أقصى. 4KW |
|||||
امدادات الطاقة الترددات اللاسلكية البلازما |
1. انتاج الطاقة: 5 - 500W قابل للتعديل مع الاستقرار ± 1 ٪. 2. الترددات اللاسلكية: 13.56 ميجا هرتز ± 0.005 ٪ الاستقرار. 3. قوة الانعكاس: 10 واط كحد أقصى. 4. مطابقة: التلقائي 5. منفذ إخراج rf: 50 Ω ، n-type ، أنثى 6. الضوضاء: العلامة & lt ؛ 30 ديسيبل. 7. التبريد: تبريد الهواء. 8. الطاقة: 208-240vac ، مرحلة واحدة ، 50/60 هرتز |
|||||
قياس الضغط المضادة للتآكل |
1. 3.8x10 -5 إلى 1125 نطاق قياس torr 2. المضادة للتآكل ، الغاز نوع مستقلة 3. دقة عالية واستنساخ في الغلاف الجوي للكشف عن الضغط الجوي موثوق 4. الكشف الجوي السريع يلغي وقت الانتظار ويقصر دورة العملية 5. من السهل تبادل المكونات & أمبير ؛ تلعب عنصر الاستشعار |
|||||
محطة ضخ فراغ والصمامات |
1. مضخة شفط جافة عالية السرعة (120l / min) من pfeiffer ، يتم تثبيت حد 10e-3 torr داخل العربة المتنقلة شديدة التحمل 2. يتم توصيل محول kf25 وأنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ بين المضخة وشفة الأنبوب مع صمام الكرة لسد وتشغيل العميل 3. 10e-2 torr vacuum يمكن تحقيقه داخل أنبوب المعالجة |
|||||
مقاييس التدفق الشامل & أمبير ؛ محطة خلط الغاز |
يتم تثبيته في عربة متنقلة للخدمة الشاقة حيث يمكن وضع فرن الأنبوب في الأعلى. شاشة لمس LCD مدمجة لتوفير تحكم سهل في معدل تدفق الغاز لكل قناة مستقلة. 1. درجة حرارة العمل: 5 ~ 45 درجة مئوية 2. كحد أقصى. الضغط: 3x10 6 السلطة الفلسطينية 3. الدقة: ± 1.5٪ fs 4. الخطوط الملاحية المنتظمة: ± (0.5-1.5)٪ fs. 5. دقة مكررة: ± 0.2 ٪ fs. 6. نطاق السيطرة: 5،10،20،30،50،100،200،300،500sccm أو 1،2،3،5،10slm. |
|||||
التدفئة و أمبير ؛ معدلات التبريد |
|
|||||
ضمان |
ضمان محدود لمدة عامين مع دعم مدى الحياة. |
|||||
ملاحظات طلب التقديم |
صممت أفران الأنابيب مع أنابيب الكوارتز للاستخدام تحت فراغ وانخفاض الضغط العلامة & lt ؛ 0.12 ميجا باسكال (الضغط المطلق). |

1. نحن توريد الآلات مع دعم تكنولوجيا البطارية.
2. نحن العرض مجموعة كاملة من معدات بطارية الليثيوم للبحوث المخبرية ، البحث التجريبي النطاق لين الإنتاج ه.

1 الحزمة القياسية المصدرة: حماية anticollision الداخلية ، تصدير صندوق خشبي التغليف الخارجي.
2 الشحن عن طريق التعبير ، عن طريق الجو ، عن طريق البحر وفقا لمتطلبات العملاء لإيجاد الطريقة الأكثر ملاءمة.
3 مسؤولة عن الضرر أثناء عملية الشحن ، سيتم تغيير جزء الضرر لك مجانا.
