مصغرة منطقة درجة حرارة واحدة انزلاق الفرن أنبوب pecvd
Model Number:
TMAX-1200-SlidingPECDelivery Time:
3 days
مصغرة منطقة درجة حرارة واحدة انزلاق الفرن أنبوب pecvd
tmax1200-ق-ح-PECVD يتكون النظام من فرن أنبوب فراغ tl1200 ، غرفة تفريغ كوارتز ، مصدر طاقة rf ، نظام تزويد غاز gx ، نظام ضخ ونظام قياس فراغ.
الخصائص الرئيسية:
1. يتم تغيير الغاز في غرفة فراغ الكوارتز إلى الحالة الأيونية عن طريق إمدادات الطاقة RF.
2. pecvd أقل من cvd الطبيعي لترسيب البخار الكيميائي.
3. يمكن السيطرة على الإجهاد من الأفلام المودعة عن طريق تردد إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية.
4. pecvd لديه معدل ترسب عالية ، توحيد جيد ، الاتساق والاستقرار من cvd العادي.
5. تستخدم على نطاق واسع في نمو مختلف الأفلام ، مثل siox ، sinx ، sioxny والسيليكون غير المتبلور (a-si: h) ، إلخ.
تقنية نظام tmax1200-sh-pecvd لعنصر تسخين الأسلاك المقاومة kanthal السويدية ، باستخدام هيكل القشرة المزدوجة و 30 برنامج التحكم في درجة الحرارة للبرنامج ، الزناد بنظام الطور ، التحكم في الثايرستور ، الفرن باستخدام مادة ألياف الألومينا متعددة الكريستالات ، يمكن ختم شفة الفولاذ المقاوم للصدأ على حد سواء نهايات أنبوب الفرن ، وتركيب شفة الفولاذ المقاوم للصدأ لديها فم ، صمام وضغط قياس ، فراغ ، درجة فراغ يمكن أن تصل إلى 10-3 سنويا ، وتحقيق التوازن في مجال درجة حرارة منخفضة ، درجة حرارة السطح ، معدل درجة حرارة الرفع ، توفير الطاقة ، تنازلات الأسعار ، إلخ.
1. kanthal سلك المقاومة a1 من السويد
kanthal a1 الأصلي الأسلاك الصينية سلك المقاومة فرن مقابل المستوردة سلك المقاومة الفرن
(1) ، ارتفاع درجة حرارة السطح يمكن أن تصل إلى 1420 ℃
(2) السطح مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ (ساطع جدًا ، يجب على العميل الانتباه إليه) ، لن يصدأ ، ولن يسقط وقت الاستخدام من الخبث.
(3) يتم تنزيل بيانات سلك مقاومة kanthal
(4) موقع سلك مقاومة kanthal: www.kanthal.com
(5) المقاومة متوازنة ومجال درجة الحرارة جيد على قدم المساواة
معظم الشركات المصنعة تستخدم سبائك الحديد كروية مخدر بواسطة سلك المقاومة مو ، والتي
في بعض الأحيان تكون المقاومة غير متساوية وجزءًا من الحرارة صغيرًا لمقاومة kanthal a1 موحدة ومتوازنة للحرارة وتأثير جيد لدرجة حرارة الحقل
2. تركيب التبديل الهواء و حامي تسرب:
عند حدوث تيار كهربائي أو تسرب ، يتم فصل اجتماع فارغ تلقائيًا.
3. يمكن الاتصال مع الكمبيوتر
تم تجهيز هذا الفرن بواجهة وبرامج اتصال ، ويمكن أن يكون مباشرة من خلال التحكم بالكمبيوتر الفرن لكل معلمة ، ويمكن ملاحظتها من الكمبيوتر الكهروضوئية على الموقد وقيمة درجة حرارة التشغيل والتشغيل الصك ، ودرجة الحرارة الفعلية للكمبيوتر رسم منحنى الفرن في الوقت الحقيقي ، ويمكن الحفاظ على بيانات درجة الحرارة في كل مرة ، ويمكن الاتصال في أي وقت
4. الغرفة |
|
(1 ) عالية الجودة الألومينا نقية عالية الألياف الكريستالات الفرن علاجه مع شفط فراغ وفلتر صب.
(2). اعتماد التكنولوجيا اليابانية لتشكيل.
(3). يتم ترتيب تباعد ونبرة سلك المقاومة في الفرن وفقًا لأفضل التقنيات الحرارية في اليابان ، ويتم محاكاة مجال درجة الحرارة بواسطة برنامج حراري
(4). باستخدام 4 أسابيع التدفئة ، ودرجة الحرارة أكثر توازنا
5. لوحة كهربائية اختيارية معتمدة من ul (كل ذلك من خلال شهادة ul للأجهزة الكهربائية المستوردة)
6. الزناد
بدء تشغيل الحد من بدء التشغيل الناعم تستخدم معظم الشركات المصنعة مشغلات بود شيامن غير المقيدة
1 مرحلة التحول الزناد (مع بداية لينة وظيفة الحد الحالي)
2. وظيفة الحد الحالي بغض النظر عن كيفية ضبط وقت التسخين الذي نستخدمه في الفرن الكهربائي بعد أن يقتصر التيار الثانوي للمحول على 170a أو أقل حماية محدودة للمعدات. مشغل غير محدود إذا تم ضبط معدل التسخين بشكل غير صحيح أو سريع للغاية. التيار المنخفض الحالي كبير جدًا حيث أن الجهاز سيرحل أو ينفد.
3 - بداية لينة وظيفة التيار سوف تزيد ببطء من تأثير عنصر التسخين صغير يؤدي إلى إطالة عمر عنصر التدفئة
4 - وظيفة الحماية إذا تجاوز التيار الحد الحالي ، يقوم المشغل تلقائيًا بقطع وظيفة المشغل لقطع فرن الحماية الحالي.
7. المجاهدين محول معتمد
1 - كابل محول النحاس النقي
2 صوت المحولات الصغيرة
3 درجة حرارة المحولات منخفضة
8. مجموعة متنوعة من الخيارات لاختيار مجموعة متنوعة من الشفاه (قطرها من 25 إلى 250 مم)
نموذج |
TMAX-1200-slidingpecvd1 |
TMAX-1200-slidingpecvd2 |
|
قوة |
1.5KW |
||
حجم الأنبوب |
dia25 (OD) x1250mm |
dia50 (OD) x1250mm |
|
الأبعاد الكلية (lxdxh) |
1800x410x610 |
1800x460x660 |
|
الجهد امدادات الطاقة |
220 فولت |
||
المواد السكك الحديدية الشريحة |
304 الفولاذ المقاوم للصدأ |
||
نمط انزلاقي |
الفولاذ المقاوم للصدأ المتداول تحمل |
||
عدد الطور |
على مرحلة واحدة |
||
عنصر التسخين |
استيراد السلوفان canthal a1 سلك المقاومة انقر في تنزيل البيانات |
||
وضع التحكم |
باستخدام يو الكهربائية ترمومتر التحكم في البرنامج (قياسي)
fp93 التحكم في درجة الحرارة الجدول الأدوات الأوروبية لمس الشاشة (shimaden) |
||
وضع التحكم في درجة الحرارة |
معرف المنتج |
||
كسر حتى الحماية والعرض |
نعم فعلا |
||
على حماية درجة الحرارة |
نعم فعلا |
||
أكثر من الحماية الحالية |
نعم فعلا |
||
دقة التحكم |
+ / - 1 ℃ |
||
الزناد |
مرحلة التحول الزناد |
||
الأجهزة الكهربائية |
تشجيانغ chint |
||
السيليكون المعدل للرقابة |
106 / 16e البوابة الغربية ، ألمانيا |
||
أعلى درجة حرارة |
درجة حرارة المنطقة 1: 1200 ℃ درجة حرارة المنطقة 2: 1200 ℃ |
||
درجة الحرارة في التصنيف |
درجة حرارة المنطقة 1: 1100 ℃ درجة حرارة المنطقة 2: 1100 ℃ |
||
معدل التسخين |
ال 20 ℃ / دقيقة أو أقل (يمكن تعديلها وفقًا للمتطلبات ) |
||
معدل التدفئة الموصى بها |
10 ℃ / دقيقة أو ليه الصورة |
||
نموذج الحرارية |
المناطق 1: نطاق درجة الحرارة من النوع k 2: نوع k |
||
طول التدفئة |
المناطق 1: نطاق درجة حرارة 200 ملم. 2: 200 ملم |
||
شهادة الكهربائية |
م |
||
درجة حرارة السطح المحيطة |
45 ℃ أو ليه الصورة |
||
الترددات اللاسلكية امدادات الطاقة |
|
||
مجموعة انتاج الطاقة |
0-500 واط |
||
أقصى قوة تنعكس |
200 واط. |
||
تردد العمل |
rf: 13.56 ميجا هرتز زائد أو ناقص 0.005٪ |
||
استقرار الطاقة |
+ / - 0.1٪ |
||
عنصر التوافقي |
- 50 أو أقل ديسيبل |
||
عرض الترددات اللاسلكية |
0-600 - مم قابل للتعديل |
||
وضع المطابقة |
تلقائي |
||
وضع التبريد |
الهواء البارد |
||
الضوضاء |
العلامة & lt؛ 50 ديسيبل |
||
واجهة تردد الراديو |
50 Ω ن - نوع |
||
مدخل الطاقة |
208-240 - 50/60 هرتز |
||
المعالم الرئيسية لنظام امدادات الغاز gx
|
تدفق متر الشامل |
||
قنوات إذاعية: |
1 ، 2 ، 3 ، 4 ، 5 ، 6 ، 7 ، 8 (اختياري) |
||
نوع مشترك |
كاسيت مزدوج موصل الفولاذ المقاوم للصدأ |
||
نظام ضغط العمل المدى |
0.1 ~ 0.5 ميجا باسكال |
||
درجة حرارة العمل |
5-45 ℃ |
||
ضغط الفراغ ووتش |
0.1 ~ 0.15 ميغاباسكال إلى 0.01 ميغاباسكال / القضية |
||
غرفة خلط ثابتة |
ديا 50 × 400 مم |
||
جهة تعامل |
ضياء 6 1/4 " |
||
إمدادات الطاقة |
220 فولت |
||
بحجم |
600 × 600 × 600 |
||
انبوب مجدول |
kf25x1000mm |
||
يمكن الوصول إلى درجة الفراغ مع هذا النظام |
10-1 السلطة الفلسطينية |
||
فراغ يربك صمام |
KF25 |
||
vrd إلى 8 مضخة فراغ |
|||
نموذج |
vrd إلى 8 |
||
الحد من الضغط الجزئي |
5 × 10 - سنويا |
||
مدخل العادم واجهة |
KF25 |
||
سرعة المحرك |
1440 دورة في الدقيقة |
||
معدل الاستخراج |
2.2 لتر / ثانية |
||
قوة المحرك |
0.4 كيلو واط |
||
مضخة جذور متعددة المراحل خالية من الزيت acp1 perfeer (خطة 2) |
|||
نموذج |
acp15 |
||
مزود الطاقة |
ac100 ~ 240v 50 / 60HZ |
||
قوة |
450 واط |
||
واجهة العادم |
KF25 |
||
وزن |
25 كجم |
||
الحد الأقصى لمعدل تسرب الهيليوم هو |
5 · 10-8 باسكال م 3 / ث |
||
درجة فراغ المدقع |
0.02 torr |
||
معدل الاستخراج هو |
14 م 3 / ساعة |
||
نموذج |
zdr - 1 |
||
قوة |
25 واط. |
||
نطاق قياس درجة الفراغ |
0.1-10 5 سنويا |
||
السيليكون المقاومة |
ما كان ZJ إلى 52 ر |
||
السويد (inficon) pirani فراغ السعة متر (اختياري) |
|||
نموذج |
pcg554 |
||
مساهمة الجهد |
24v 1a dc (مجهزة محول 220 فولت) |
||
واجهة قياس الفراغ |
kf16 |
||
عرض رقمي |
شاشة رقمية (حجم الشاشة 20 × 14 مم) ، وحدة عرض البيانات الخاصة بها هي torr |
||
حجم المنتج |
46 مم × 28 مم × 126 مم (س س س س) |
||
وزن |
5 رطل |
||
الكشف عن الغاز |
يمكن اكتشاف غازات مختلفة بما في ذلك الغازات المختلطة ودقيقة وقابلة للتكرار |
||
ما إذا كان المضادة للتآكل |
الحماية من التآكل |
||
وقت الاستجابة |
30 مللي ثانية أو أقل |
||
نطاق القياس |
3.8 x10-5-1125 torr. |
||
وحدة المضخة الجزيئية (اختياري) |
|||
الجهد وحدة الإدخال |
380 فولت / 220 فولت |
||
انبوب مجدول |
kf40x1000 |
||
فراغ يربك صمام |
kf40 |
||
حجم القضية |
600 × 600 × 600 |
||
مضخة جزيئية |
|
||
نموذج المضخة الجزيئية |
fj620 |
||
مساهمة الجهد |
380 فولت |
||
مضخة الجزيئية مدخل شفة |
dn160 |
||
مضخة ضخ جزيئية معدل لتر (s) |
600 |
||
مضخة الحد الجزيئي الضغط (سنويا) |
6 × 10-7 |
||
نظام التبريد |
تبريد المياه |
||
ضغط مياه التبريد (الأم) |
0.1 إلى 0.2 |
||
درجة حرارة ماء التبريد |
العلامة & lt؛ 25 ℃ العلامة & lt؛ p = "" & gt؛ |
||
درجة حرارة البيئة |
0 ~ 40 ℃ |
||
اقترح بدء الضغط |
العلامة & lt؛ 100 سنويا & lt؛ p = "" & gt؛ |
||
مضخة فراغ المحرك rvp - 6 |
|||
قوة |
0.75 كيلو واط |
||
الجهد االكهربى |
380 فولت |
||
سرعة |
1450 دورة في الدقيقة |
||
قطر المدخل |
kf25 / kf40 |
||
معدل ضخ المضخة (لتر / ثانية) |
6 |
||
الضغط النهائي |
4 - 10 - 2 سنويا |
||
مضخة فراغ pfeiffer الألمانية |
|||
الجهد االكهربى |
220 فولت |
||
قوة |
110 واط. |
||
واجهة استخراج |
kf40 |
||
وزن |
150 كجم |
||
سرعة المضخة للمضخة الأمامية |
0.9 م 3 / ساعة |
||
معدل الاستخراج (n2) |
33 م / ث |
||
قياس فراغ مركب |
|||
نموذج قياس الفراغ المركب |
زد دي اف |
||
إمدادات الطاقة |
220 فولت 55 واط |
||
دقة التحكم |
زائد أو ناقص 1 ٪ |
||
قياس مدى فراغ قياس |
10-5-10 5 سنويا |
1. نحن توريد الآلات مع دعم تكنولوجيا البطارية.
2. نحن العرض مجموعة كاملة من معدات بطارية الليثيوم للبحوث المخبرية ، البحث التجريبي النطاق لين الإنتاج ه.

1 الحزمة القياسية المصدرة: حماية anticollision الداخلية ، تصدير صندوق خشبي التغليف الخارجي.
2 الشحن عن طريق التعبير ، عن طريق الجو ، عن طريق البحر وفقا لمتطلبات العملاء لإيجاد الطريقة الأكثر ملاءمة.
3 مسؤولة عن الضرر أثناء عملية الشحن ، سيتم تغيير جزء الضرر لك مجانا.
